清華大學,9003基地,精密儀器實驗室。
已經是冬季,外面開始飄著雪花,但是,這實驗室內的溫度,卻一直保持在20攝氏度,甚至,正負都不能超過0.1攝氏度,而且,空氣非常潔凈,防塵標準100級,也就是1立方米的空氣中,浮塵微粒的數(shù)量不能超過100!
時間已經到了下午六點鐘,穿著白大褂的中年人,依舊還在實驗室里工作著,他的面前是一臺計算機,計算機的旁邊,擺著一個大型設備,右下角的鋁制銘牌上,刻著一行小字。
自動對準分步投影光刻機。
沒錯,這就是后世讓東方時時刻刻被西方卡脖子的光刻機,而在這八十年代,東方的光刻機技術,并不比西方差!
叮鈴鈴……
“喂。”中年人拿起電話:“什么?好,知道了,我這就出去。”
小心翼翼地關閉機器,通過了強力風道過濾通道,中年人來到了外面的辦公室,里面,一名老干部已經等在了那里。
“徐教授,這次……唉!”
徐端頤,1955年從貴陽一中畢業(yè)之后,以優(yōu)異的成績考入了清華大學,1961年在清華精密儀器系畢業(yè)后就留校任教。
在那個特殊的時代里,他去了鄱陽湖的農場,接受勞動改造,他原本以為,這輩子就要當農民工了,直至某一天深夜,接到首都的電報,他緊急回首都,才知道,國家的半導體工業(yè)和國防工業(yè),急需光刻機!
于是,當時還是助教的他,接下了這個艱巨的任務。
清華大學全力支持,精密儀器系大樓建成之后,大樓一層就裝修成了精密光學儀器加工工廠,也就是9003實驗基地,系主任沈釗兼任廠長,學校的工程技術隊伍都歸屬他指揮,幾百人的研發(fā)團隊就這樣成立了!
光刻機,制造復雜,難度很大,巴統(tǒng)將它列為高端產品,對東方實行技術封鎖,在與世隔絕的情況下,徐教授帶著團隊,從氦氖激光器開始做起,精密導軌、絲杠、滾珠、步進電機、數(shù)字控制用的計算機、光學系統(tǒng)、大孔徑的投影物鏡等等……
經過努力,東方第一臺自動光刻機就此誕生!
之后,徐教授再接再厲,繼續(xù)研制更加先進的分步投影光刻機,簡單來說,就是把芯片分成一塊塊的,每次只光刻一部分,隨著加工精度的不斷提升,這是必然。
1980年,這種光刻機研發(fā)成功,加工的最小線寬達到了0.8微米,可以說,這款光刻機的研發(fā)成功,解決了東方芯片工業(yè)最大的難題,用十來年不成問題!
要知道,八十年代末期的486處理器,用的也不過是1微米工藝!
但是……
已經升為副校長的沈釗,臉上表情復雜:“咱們親自過去,找了魔都的無線電廠,他們原本說得好好的,要采購咱們的光刻機,結果……”
“他們寧可要國外的性能更差的產品,也不愿意要我們清華大學的先進光刻機?”徐教授的語氣沉重。
“是啊,原本說得好好的,沒想到……唉,要是咱們沒去參加巴黎國際工業(yè)展覽會就好了,不過……那可是政治任務,咱們……”
說起這件事來,沈校長更是愧疚。
巴黎國際工業(yè)展覽會,整個西方世界的盛會,國門打開之后,東方也急于展現(xiàn)自己的實力,上級領導看看自己的家底,能拿得出手的,寥寥無幾,光刻機正好是其中之一!
于是,大手一揮,帶著光刻機,去巴黎展覽!
徐教授不想讓光刻機過去,畢竟這種精密儀器,運輸會有磨損,甚至一個輕微晃動都是致命的,但是沒辦法,政治任務,必須要全力完成啊!
看著自己的光刻機裝上了卡車,徐教授很心疼,沒幾天,就接到了求救電報。
老干部們帶著光刻機,興致勃勃地參加展覽會,在現(xiàn)場,無數(shù)西方的光刻機工程師們,圍著這臺光刻機,問這問那,這些老干部們哪里會啊!他們出國,不過就是想要去看看外面世界的,沒想到被問住了。
展覽會舉辦方生氣了,認為東方人吹牛逼,這下,只能趕緊求救,徐教授親自過去,回答專業(yè)問題,在老干部們的催促下,知無不言言無不盡。
西方人滿意了,紛紛豎起大拇指,夸獎東方的光刻機先進,扭頭就把巴統(tǒng)限制給解了。
東方沒有的,那就限制,不讓東方人有進步的機會,東方有的,那就傾銷,擠垮東方自己的相關工業(yè)!
光刻機產業(yè),就在經歷這樣血淋淋的一幕。
魔都元件五廠,元件二十三廠……很多老牌的半導體工廠,原本都從清華大學訂購了光刻機,沒想到,外國人來一番推銷,這些廠就都叛變了,尤其是,外國人出錢,請這些廠的領導去國外考察,他們就更是堅定地要求采購國外產品!
耗費巨資研發(fā)出來了先進的分步投影光刻機,一臺訂單都沒有,后續(xù)研發(fā)還怎么進行?
沈校長親自帶隊,去國內各個單位轉了一圈,得到的回答都是一樣的,必須從國外進口,我們不能冒險用自己不成熟的設備!
徐教授對沈校長的行程,還是充滿期待的,沒想到,得到的是這樣的結果!
“現(xiàn)在,唯一有采購意向的,就是109廠,不過,他們也不會大批量采購,他們也想要外購,只是打算象征性地采購一臺做測試……”
109廠,同樣位于首都的東方半導體產業(yè)的起步廠!就連這個廠,也不愿意大批量采購清華大學的光刻機!
“唉!”徐教授一聲嘆息:“這些人的目光,真是短淺啊,他們能買到國外的,就是因為我們自己能造,誰都不支持我們,我們只能放棄這個產業(yè),以后……他們還想買更先進的?沒門!”
“沒錯,說得對,那些都是一群短視的崇洋媚外的蠢貨!”就在此時,門口響起了一個聲音:“徐教授,你們的光刻機,咱們哈工大微電子公司買了!”
哈工大微電子公司?等等,這說話的聲音是……秦淼?
“秦淼同志,歡迎歡迎!”沈校長的話還沒說完,徐教授已經跑到了門口。