清華大學(xué),9003基地,精密儀器實(shí)驗(yàn)室。
已經(jīng)是冬季,外面開始飄著雪花,但是,這實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的溫度,卻一直保持在20攝氏度,甚至,正負(fù)都不能超過(guò)0.1攝氏度,而且,空氣非常潔凈,防塵標(biāo)準(zhǔn)100級(jí),也就是1立方米的空氣中,浮塵微粒的數(shù)量不能超過(guò)100!
時(shí)間已經(jīng)到了下午六點(diǎn)鐘,穿著白大褂的中年人,依舊還在實(shí)驗(yàn)室里工作著,他的面前是一臺(tái)計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)的旁邊,擺著一個(gè)大型設(shè)備,右下角的鋁制銘牌上,刻著一行小字。
自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)分步投影光刻機(jī)。
沒(méi)錯(cuò),這就是后世讓東方時(shí)時(shí)刻刻被西方卡脖子的光刻機(jī),而在這八十年代,東方的光刻機(jī)技術(shù),并不比西方差!
叮鈴鈴……
“喂。”中年人拿起電話:“什么?好,知道了,我這就出去?!?/p>
小心翼翼地關(guān)閉機(jī)器,通過(guò)了強(qiáng)力風(fēng)道過(guò)濾通道,中年人來(lái)到了外面的辦公室,里面,一名老干部已經(jīng)等在了那里。
“徐教授,這次……唉!”
徐端頤,1955年從貴陽(yáng)一中畢業(yè)之后,以優(yōu)異的成績(jī)考入了清華大學(xué),1961年在清華精密儀器系畢業(yè)后就留校任教。
在那個(gè)特殊的時(shí)代里,他去了鄱陽(yáng)湖的農(nóng)場(chǎng),接受勞動(dòng)改造,他原本以為,這輩子就要當(dāng)農(nóng)民工了,直至某一天深夜,接到首都的電報(bào),他緊急回首都,才知道,國(guó)家的半導(dǎo)體工業(yè)和國(guó)防工業(yè),急需光刻機(jī)!
于是,當(dāng)時(shí)還是助教的他,接下了這個(gè)艱巨的任務(wù)。
清華大學(xué)全力支持,精密儀器系大樓建成之后,大樓一層就裝修成了精密光學(xué)儀器加工工廠,也就是9003實(shí)驗(yàn)基地,系主任沈釗兼任廠長(zhǎng),學(xué)校的工程技術(shù)隊(duì)伍都?xì)w屬他指揮,幾百人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)就這樣成立了!
光刻機(jī),制造復(fù)雜,難度很大,巴統(tǒng)將它列為高端產(chǎn)品,對(duì)東方實(shí)行技術(shù)封鎖,在與世隔絕的情況下,徐教授帶著團(tuán)隊(duì),從氦氖激光器開始做起,精密導(dǎo)軌、絲杠、滾珠、步進(jìn)電機(jī)、數(shù)字控制用的計(jì)算機(jī)、光學(xué)系統(tǒng)、大孔徑的投影物鏡等等……
經(jīng)過(guò)努力,東方第一臺(tái)自動(dòng)光刻機(jī)就此誕生!
之后,徐教授再接再厲,繼續(xù)研制更加先進(jìn)的分步投影光刻機(jī),簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),就是把芯片分成一塊塊的,每次只光刻一部分,隨著加工精度的不斷提升,這是必然。
1980年,這種光刻機(jī)研發(fā)成功,加工的最小線寬達(dá)到了0.8微米,可以說(shuō),這款光刻機(jī)的研發(fā)成功,解決了東方芯片工業(yè)最大的難題,用十來(lái)年不成問(wèn)題!
要知道,八十年代末期的486處理器,用的也不過(guò)是1微米工藝!
但是……
已經(jīng)升為副校長(zhǎng)的沈釗,臉上表情復(fù)雜:“咱們親自過(guò)去,找了魔都的無(wú)線電廠,他們?cè)菊f(shuō)得好好的,要采購(gòu)咱們的光刻機(jī),結(jié)果……”
“他們寧可要國(guó)外的性能更差的產(chǎn)品,也不愿意要我們清華大學(xué)的先進(jìn)光刻機(jī)?”徐教授的語(yǔ)氣沉重。
“是啊,原本說(shuō)得好好的,沒(méi)想到……唉,要是咱們沒(méi)去參加巴黎國(guó)際工業(yè)展覽會(huì)就好了,不過(guò)……那可是政治任務(wù),咱們……”
說(shuō)起這件事來(lái),沈校長(zhǎng)更是愧疚。
巴黎國(guó)際工業(yè)展覽會(huì),整個(gè)西方世界的盛會(huì),國(guó)門打開之后,東方也急于展現(xiàn)自己的實(shí)力,上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)看看自己的家底,能拿得出手的,寥寥無(wú)幾,光刻機(jī)正好是其中之一!
于是,大手一揮,帶著光刻機(jī),去巴黎展覽!
徐教授不想讓光刻機(jī)過(guò)去,畢竟這種精密儀器,運(yùn)輸會(huì)有磨損,甚至一個(gè)輕微晃動(dòng)都是致命的,但是沒(méi)辦法,政治任務(wù),必須要全力完成啊!
看著自己的光刻機(jī)裝上了卡車,徐教授很心疼,沒(méi)幾天,就接到了求救電報(bào)。
老干部們帶著光刻機(jī),興致勃勃地參加展覽會(huì),在現(xiàn)場(chǎng),無(wú)數(shù)西方的光刻機(jī)工程師們,圍著這臺(tái)光刻機(jī),問(wèn)這問(wèn)那,這些老干部們哪里會(huì)?。∷麄兂鰢?guó),不過(guò)就是想要去看看外面世界的,沒(méi)想到被問(wèn)住了。
展覽會(huì)舉辦方生氣了,認(rèn)為東方人吹牛逼,這下,只能趕緊求救,徐教授親自過(guò)去,回答專業(yè)問(wèn)題,在老干部們的催促下,知無(wú)不言言無(wú)不盡。
西方人滿意了,紛紛豎起大拇指,夸獎(jiǎng)東方的光刻機(jī)先進(jìn),扭頭就把巴統(tǒng)限制給解了。
東方?jīng)]有的,那就限制,不讓東方人有進(jìn)步的機(jī)會(huì),東方有的,那就傾銷,擠垮東方自己的相關(guān)工業(yè)!
光刻機(jī)產(chǎn)業(yè),就在經(jīng)歷這樣血淋淋的一幕。
魔都元件五廠,元件二十三廠……很多老牌的半導(dǎo)體工廠,原本都從清華大學(xué)訂購(gòu)了光刻機(jī),沒(méi)想到,外國(guó)人來(lái)一番推銷,這些廠就都叛變了,尤其是,外國(guó)人出錢,請(qǐng)這些廠的領(lǐng)導(dǎo)去國(guó)外考察,他們就更是堅(jiān)定地要求采購(gòu)國(guó)外產(chǎn)品!
耗費(fèi)巨資研發(fā)出來(lái)了先進(jìn)的分步投影光刻機(jī),一臺(tái)訂單都沒(méi)有,后續(xù)研發(fā)還怎么進(jìn)行?
沈校長(zhǎng)親自帶隊(duì),去國(guó)內(nèi)各個(gè)單位轉(zhuǎn)了一圈,得到的回答都是一樣的,必須從國(guó)外進(jìn)口,我們不能冒險(xiǎn)用自己不成熟的設(shè)備!
徐教授對(duì)沈校長(zhǎng)的行程,還是充滿期待的,沒(méi)想到,得到的是這樣的結(jié)果!
“現(xiàn)在,唯一有采購(gòu)意向的,就是109廠,不過(guò),他們也不會(huì)大批量采購(gòu),他們也想要外購(gòu),只是打算象征性地采購(gòu)一臺(tái)做測(cè)試……”
109廠,同樣位于首都的東方半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的起步廠!就連這個(gè)廠,也不愿意大批量采購(gòu)清華大學(xué)的光刻機(jī)!
“唉!”徐教授一聲嘆息:“這些人的目光,真是短淺啊,他們能買到國(guó)外的,就是因?yàn)槲覀冏约耗茉欤l(shuí)都不支持我們,我們只能放棄這個(gè)產(chǎn)業(yè),以后……他們還想買更先進(jìn)的?沒(méi)門!”
“沒(méi)錯(cuò),說(shuō)得對(duì),那些都是一群短視的崇洋媚外的蠢貨!”就在此時(shí),門口響起了一個(gè)聲音:“徐教授,你們的光刻機(jī),咱們哈工大微電子公司買了!”
哈工大微電子公司?等等,這說(shuō)話的聲音是……秦淼?
“秦淼同志,歡迎歡迎!”沈校長(zhǎng)的話還沒(méi)說(shuō)完,徐教授已經(jīng)跑到了門口。